500-1750℃PECVD系統(tǒng)
更新：2017/2/25 14:58:12?
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- 產(chǎn)品品牌：???上海薩佑
- 產(chǎn)品型號：???SY-PDT-XZ/F系列
產(chǎn)品介紹：
該款PECVD系統(tǒng), 可以分為低溫、中溫、高溫三種加熱形式，加熱元件可分為電阻絲（1100℃以下使用）、硅碳棒（1400℃以下使用）、硅鉬棒（1800℃以下使用）等；
PECVD系統(tǒng)主要由供氣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、射頻電源、真空系統(tǒng)等組成；
1）加熱系統(tǒng)可以分單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)等；
2）真空系統(tǒng)可分為低真空和高真空，最高極限真空可以達到10-4Pa（分子泵組）；
3）射頻電源借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中；
4）供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路、6路等相混合（主要根據(jù)客戶工藝要求定制）；
PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單。
爐底(可選)配安裝一對滑軌，可用手滑動（主要適用于1200℃以下加裝滑軌）。可以達到快速升降溫的目的，為取得最快加熱速率，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品區(qū)。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。物料可以在真空或者惰性氣體環(huán)境下的升溫速率或降溫速率達到100°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品.。
主要功能和特點：
1、 1200℃爐蓋可打開，可以隨時觀察加熱的物料，并能迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實驗需要；
2、 爐膛采用日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)氧化鋁多晶纖維制成，保溫效果好，耐用節(jié)能， 不掉粉、反射率高、溫場均衡，等特點；
3、1）、加熱元件采用高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，最高發(fā)熱溫度可達1200℃；
2）、加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅碳棒，最高發(fā)熱溫度可達1400℃；
3）、加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅鉬棒，最高發(fā)熱溫度可達1800℃；
4、通過射頻電源實現(xiàn)輝光放電等方法，產(chǎn)生等離子體；
5、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計，流量顯示儀等組成，實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。
6、爐管采用高純石英管和高純剛玉管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小，能承受驟冷驟熱的溫度；
7、采用KF快速法蘭密封，僅需要一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；
8、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用；
9、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過我部的軟件，與計算機互聯(lián)，可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能；可安裝無紙記錄裝置，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出；
更多規(guī)格參數(shù)和詳細技術(shù)方案請來電咨詢（021-59580206/ 15800623059），可根據(jù)用戶要求另行設(shè)計制造；
我們有專業(yè)的熱工技術(shù)團隊，可根據(jù)用戶需求定制研發(fā)各種高溫加熱設(shè)備；
上海薩佑電爐技術(shù)有限公司生產(chǎn)的實驗電爐符合國家標(biāo)準(zhǔn)，出廠前經(jīng)過嚴(yán)格檢測；秉持“全方位、高品質(zhì)、快速度”的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)，以客戶滿意為目標(biāo)，謹(jǐn)此公開承諾。
一、產(chǎn)品質(zhì)量承諾：
1、產(chǎn)品的制造和檢測嚴(yán)格按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，并有質(zhì)量記錄可查；每臺設(shè)備都有唯一的制造編號，并建立用戶檔案。
2、所有產(chǎn)品均可通過權(quán)威的第三方檢測機構(gòu)檢測；也可委托我方代為辦理（檢測機構(gòu)：上海市計量局或其它計量測試中心），費用另計。
二、交貨期承諾：
按合同約定執(zhí)行；如客戶有特殊原因需提前交貨的，我公司可特別組織生產(chǎn)，力爭滿足用戶需求。
三、售后服務(wù)承諾：
1 、江浙滬部分區(qū)域免費送貨上門服務(wù)；
2、免費安裝調(diào)試服務(wù)內(nèi)容：當(dāng)您收到設(shè)備后，請注意檢查外包裝是否完好并通知我們，我們會安排專業(yè)人員上門免費安裝、調(diào)試及培訓(xùn)，并指導(dǎo)操作人員如何保養(yǎng)和注意事項等，直至滿意為止；
3、高效率 服務(wù)：當(dāng)設(shè)備不能正常使用時，請及時聯(lián)系我們，我們會在10分鐘內(nèi)響應(yīng)；2小時內(nèi)提供應(yīng)急解決方案；48小時內(nèi)安排專業(yè)人員上門服務(wù)；
4、定期回訪服務(wù)：提供定期電話回訪或上門回訪服務(wù)；
5、軟件免費更新：我們免費提供軟件的升級更新服務(wù)，使設(shè)備始終處于國內(nèi)領(lǐng)先；
6、設(shè) 備保 固期：我司鄭重承諾，自交貨之日起，我公司設(shè)備整機保固期為12個月；
7、保固期限內(nèi)：如遇設(shè)備質(zhì)量上問題，我公司鄭重承諾，負責(zé)免費維修及更換零部件，（因甲方使用不當(dāng)或其他人為因素造成的故障除外）。質(zhì)保期內(nèi)，如設(shè)備或零部件因非人為因素出現(xiàn)故障而造成短期停用時，則質(zhì)保期和免費維修期相應(yīng)順延。如停用時間累計超過60天則質(zhì)保期重新計算；
8、操作培訓(xùn)：針對客戶的具體操作人員，我公司免費上門給予操作培訓(xùn)、簡單故障排除、技術(shù)深入研制等培訓(xùn)，保證設(shè)備使用者能夠掌握使用技術(shù)；
9、保固期外，整機終身保修，如需更換零部件，緊收零部件的成本價。
上海薩佑電爐技術(shù)有限公司堅信，通過我們的合作與努力必將達到我們共同的目標(biāo) —— 品質(zhì)成就品牌！
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