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產(chǎn)品介紹：

該款CVD管式爐, 可以分為低溫、中溫、高溫三種加熱形式，加熱元件可分為電阻絲（1100℃以下使用）、硅碳棒（1400℃以下使用）、硅鉬棒（1800℃以下使用）等；

CVD管式爐由供氣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等組成；

1）加熱系統(tǒng)可以分單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)等；

2）真空系統(tǒng)可分為低真空和高真空，最高極限真空可以達到10-4Pa（分子泵組）；

3）供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路、6路等相混合（主要根據(jù)客戶工藝要求定制）；

爐底(可選)配安裝一對滑軌，可用手滑動（主要適用于1200℃以下加裝滑軌）?？梢赃_到快速升降溫的目的，為取得最快加熱速率，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品區(qū)。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。物料可以在真空或者惰性氣體環(huán)境下的升溫速率或降溫速率達到100°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品.。

主要功能和特點：

1、 1200℃爐蓋可打開，可以隨時觀察加熱的物料，并能迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實驗需要；

2、 爐膛采用日本技術真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)氧化鋁多晶纖維制成，保溫效果好，耐用節(jié)能， 不掉粉、反射率高、溫場均衡，等特點；

3、1）、加熱元件采用高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，最高發(fā)熱溫度可達1300℃；

     2）、加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅碳棒，最高發(fā)熱溫度可達1450℃；

     3）、加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅鉬棒，最高發(fā)熱溫度可達1850℃；

4、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計，流量顯示儀等組成，實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。

5、爐管采用高純石英管（1200℃以下）和高純剛玉管（1200℃以上），高溫下化學穩(wěn)定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小，能承受驟冷驟熱的溫度；

6、采用KF快速法蘭密封，僅需要一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；

7、預留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用；

8、預留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過我部的軟件，與計算機互聯(lián)，可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能；可安裝無紙記錄裝置，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出；

9、爐殼外觀采用了圓弧形過度設計，造型新穎、美觀；

10、爐子底部采用抽拉式插銷結(jié)構(gòu)，方便電器元件和熱電偶更換、維修；

11、上蓋開啟自動斷電，超溫和斷偶保護警報并斷電，漏電保護，操作安全可靠。