多路質(zhì)子供氣系統(tǒng)
更新：2017/2/25 15:25:16?
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- 產(chǎn)品品牌：???薩佑電爐
- 產(chǎn)品型號：???SYZZT
更多規(guī)格參數(shù)和詳細(xì)技術(shù)方案請來電咨詢（021-59580206/ 15800623059），可根據(jù)用戶要求另行設(shè)計制造；
我們有專業(yè)的熱工技術(shù)團(tuán)隊，可根據(jù)用戶需求定制研發(fā)各種高溫加熱設(shè)備；
主要用途：可用于搭建CVD系統(tǒng)，也可為樣品退火提供所需的氣氛環(huán)境。
一、概述
1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
二、技術(shù)參數(shù)：
氣路通道：4
氣路流量控制：質(zhì)子流量控制器。
接口：Φ6
顯示：LED
工作環(huán)境溫度:5~45℃
流量控制器：質(zhì)子流量控制器（詳細(xì)技術(shù)參數(shù)請查看后面）
四氟管：Φ6外XΦ4內(nèi)
壓力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格
截止閥：Φ6
三、供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。
四、供氣系統(tǒng)的配置：
1、質(zhì)子流量計：4個
2、壓力表：1個
3、截止閥門：5個
4、穿板接頭：5個
5、閥門接頭：2個
6、鋼瓶接頭:4個
7、聚四氟乙烯管：20M
8、混氣罐：1個
9、爐架：1臺
質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。
主要指標(biāo):
量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意選擇量程）
準(zhǔn)確度：±1.5%F.S
線性：±0.5～1.5%F.S
重復(fù)精度：±0.2%F.S
響應(yīng)時間：10S
氣壓降：<0.01MPa
最大壓力：3MP
工作環(huán)境溫度：5～45℃
輸入輸出信號：0～+5.00V
電源：+15V50mA-15V50mA
外形尺寸：158*30*110
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上海薩佑電爐技術(shù)有限公司生產(chǎn)的實驗電爐符合國家標(biāo)準(zhǔn)，出廠前經(jīng)過嚴(yán)格檢測；秉持“全方位、高品質(zhì)、快速度”的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)，以客戶滿意為目標(biāo)，謹(jǐn)此公開承諾。
一、產(chǎn)品質(zhì)量承諾：
1、產(chǎn)品的制造和檢測嚴(yán)格按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，并有質(zhì)量記錄可查；每臺設(shè)備都有唯一的制造編號，并建立用戶檔案。
2、所有產(chǎn)品均可通過權(quán)威的第三方檢測機(jī)構(gòu)檢測；也可委托我方代為辦理（檢測機(jī)構(gòu)：上海市計量局或其它計量測試中心），費用另計。
二、交貨期承諾：
按合同約定執(zhí)行；如客戶有特殊原因需提前交貨的，我公司可特別組織生產(chǎn)，力爭滿足用戶需求。
三、售后服務(wù)承諾：
1 、江浙滬部分區(qū)域免費送貨上門服務(wù)；
2、免費安裝調(diào)試服務(wù)內(nèi)容：當(dāng)您收到設(shè)備后，請注意檢查外包裝是否完好并通知我們，我們會安排專業(yè)人員上門免費安裝、調(diào)試及培訓(xùn)，并指導(dǎo)操作人員如何保養(yǎng)和注意事項等，直至滿意為止；
3、高效率 服務(wù)：當(dāng)設(shè)備不能正常使用時，請及時聯(lián)系我們，我們會在10分鐘內(nèi)響應(yīng)；2小時內(nèi)提供應(yīng)急解決方案；48小時內(nèi)安排專業(yè)人員上門服務(wù)；
4、定期回訪服務(wù)：提供定期電話回訪或上門回訪服務(wù)；
5、軟件免費更新：我們免費提供軟件的升級更新服務(wù)，使設(shè)備始終處于國內(nèi)領(lǐng)先；
6、設(shè) 備保 固期：我司鄭重承諾，自交貨之日起，我公司設(shè)備整機(jī)保固期為12個月；
7、保固期限內(nèi)：如遇設(shè)備質(zhì)量上問題，我公司鄭重承諾，負(fù)責(zé)免費維修及更換零部件，（因甲方使用不當(dāng)或其他人為因素造成的故障除外）。質(zhì)保期內(nèi)，如設(shè)備或零部件因非人為因素出現(xiàn)故障而造成短期停用時，則質(zhì)保期和免費維修期相應(yīng)順延。如停用時間累計超過60天則質(zhì)保期重新計算；
8、操作培訓(xùn)：針對客戶的具體操作人員，我公司免費上門給予操作培訓(xùn)、簡單故障排除、技術(shù)深入研制等培訓(xùn)，保證設(shè)備使用者能夠掌握使用技術(shù)；
9、保固期外，整機(jī)終身保修，如需更換零部件，緊收零部件的成本價。
上海薩佑電爐技術(shù)有限公司堅信，通過我們的合作與努力必將達(dá)到我們共同的目標(biāo) —— 品質(zhì)成就品牌！
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