一、概述
1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
二、技術(shù)參數(shù)：
氣路通道：4
氣路流量控制：質(zhì)子流量控制器。
接口：Φ6
顯示：LED
工作環(huán)境溫度:5~45℃
流量控制器：質(zhì)子流量控制器（詳細技術(shù)參數(shù)請查看后面）
四氟管：Φ6外XΦ4內(nèi)
壓力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格
截止閥：Φ6
三、供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。
四、供氣系統(tǒng)的配置：
1、質(zhì)子流量計：4個
2、壓力表：1個
3、截止閥門：5個
4、穿板接頭：5個
5、閥門接頭：2個
6、鋼瓶接頭:4個
7、聚四氟乙烯管：20M
8、混氣罐：1個
9、爐架：1臺
質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。
主要指標:
量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意選擇量程）
準確度：±1.5%F.S
線性：±0.5～1.5%F.S
重復(fù)精度：±0.2%F.S
響應(yīng)時間：10S
氣壓降：<0.01MPa
最大壓力：3MP
工作環(huán)境溫度：5～45℃
輸入輸出信號：0～+5.00V
電源：+15V50mA-15V50mA
外形尺寸：158*30*110
