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PDP燒成爐分類和結(jié)構(gòu)

2015/8/11 11:05:02??????點(diǎn)擊:
PDP燒成爐分類和結(jié)構(gòu)

PDP燒成爐的選擇與PDP的材料特性和工藝路線密切相關(guān)。燒成爐最早使用的是金屬馬弗的網(wǎng)帶爐,但它的金屬馬弗的氧化鱗片以及馬弗與網(wǎng)帶的磨損產(chǎn)生的金屬粉末對(duì)PDP的燒結(jié)質(zhì)量產(chǎn)生不良影響。因此,近年來(lái)研制用滾柱上面放置微晶玻璃襯板來(lái)代替網(wǎng)帶的燒成爐,這種燒成爐被稱為滾柱式燒成爐。最初的滾柱采用不銹鋼材料,后來(lái)發(fā)展成在不銹鋼滾上鑲嵌瓷管.

目前幾乎所有燒成爐均采用陶瓷滾柱。這種燒成爐的顯著優(yōu)點(diǎn)是爐內(nèi)沒有氧化起皮的材料,也不存在由于金屬磨損產(chǎn)生的金屬粉末的問(wèn)題,提高了爐內(nèi)的潔凈度。用于PDP的滾柱式燒成爐可分為單級(jí)滾柱爐、雙級(jí)滾柱爐和間歇滾柱爐。在使用時(shí),要根據(jù)基板材料的性質(zhì)和處理量,選擇不同的燒成爐,對(duì)使用PD-200、PP-8和CS-25等高轉(zhuǎn)移點(diǎn)玻璃,一般選擇單級(jí)滾柱爐。雙級(jí)滾柱爐用于1萬(wàn)張/月以上的批量生產(chǎn)。間歇滾柱爐一般用于基板為Na-Ca玻璃的燒結(jié),也可用于多品種基板玻璃的燒結(jié)。2PDP燒成爐的特點(diǎn)單級(jí)和雙級(jí)滾柱燒成爐都屬于連續(xù)爐,根據(jù)對(duì)基板玻璃的處理量,選擇23~34m不等的爐體長(zhǎng)

雙級(jí)滾柱爐是在一個(gè)爐內(nèi)將滾輪設(shè)為2級(jí)用上、下二級(jí)滾輪運(yùn)輸2張基板,加熱器則設(shè)置成上、中、下3級(jí),可分別獨(dú)立進(jìn)行溫度控制,在爐壁內(nèi)側(cè)全部使用耐氧化的耐熱鋼(如253MA,鉻鎳鐵合金等)作為防塵馬弗材料,這與單級(jí)滾柱爐內(nèi)側(cè)全部使用N―O微晶玻璃作為防塵馬弗材料不同。使用耐熱鋼作為馬弗材料一方面是考慮到它有足夠的強(qiáng)度和抗氧化性能,焊接性能良好,易實(shí)現(xiàn)密封焊接,確保爐內(nèi)潔凈度;另一方面,薄而輕巧的耐熱鋼馬弗也易實(shí)現(xiàn)清掃作業(yè),而N―O襯板雖然自身不產(chǎn)生塵埃,但易碎,又不能實(shí)現(xiàn)氣密對(duì)接,在清掃時(shí)費(fèi)時(shí)又費(fèi)力。圖3滾柱式燒成爐的溫度分布曲線若基板玻璃選擇Na―Ca玻璃,由于Na―Ca玻璃的轉(zhuǎn)移點(diǎn)溫度低于燒結(jié)溫度,所以在基板連續(xù)冷卻時(shí),必然會(huì)使基板前后產(chǎn)生溫度差,造成前進(jìn)方向的前端溫度低,后端溫度高,使基板產(chǎn)生扇形變形。為了解決Na―Ca玻璃應(yīng)變點(diǎn)低而導(dǎo)致的收縮和變形的問(wèn)題,開發(fā)出了PD-200玻璃。它應(yīng)變點(diǎn)溫度大幅提高,達(dá)570℃,退火點(diǎn)達(dá)620℃,而在PDP制作過(guò)程中,大多數(shù)材料使用550℃左右的燒結(jié)溫度,因此,使用時(shí),PD-200玻璃不易產(chǎn)生扇形變形。單級(jí)和雙級(jí)滾柱式燒成爐用于燒結(jié)PD-200等高轉(zhuǎn)移點(diǎn)基板玻璃。

為了能夠使用價(jià)格低廉的Na―Ca玻璃作為PDP基板玻璃,開發(fā)出了間歇式燒成爐,間歇式燒成爐是在基板冷卻至380℃的降溫段采用間歇式輸運(yùn),在該間歇降溫段,用閘門將各間歇室分隔,使各室有不同的溫度,其目的是在降溫時(shí)基板前后的溫度相同,避免了扇形變形。間歇式燒成爐在升溫、保溫和溫度低于380℃的冷卻段是連續(xù)式的,由最高溫度降至380℃附近的降溫段采用的是間歇式降溫,相鄰兩間歇室的溫度差一般25℃左右。連續(xù)爐的實(shí)際溫度曲線測(cè)試比較方便:使用熱電偶粘在待測(cè)基板上,待測(cè)基板在爐內(nèi)通過(guò)時(shí)就可方便地測(cè)出爐內(nèi)基板的實(shí)際溫度。但是對(duì)間歇爐,由于在間歇降溫段,各間歇室之間有閘門分隔,因此測(cè)試基板的實(shí)際溫度變得困難,這是間歇爐需要解決的課題。另外,由于間歇爐有許多閘門,爐體內(nèi)外不密封,因此需要將整體設(shè)備放入凈化室,這就增加了空調(diào)的負(fù)荷,而一般的連續(xù)爐沒有閘門,因此只要將爐體的進(jìn)出口放在凈化室即可。  


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