1200℃PECVD管式爐
更新：2019/8/1 9:38:07?
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- 產(chǎn)品品牌：???特瑟電爐
- 產(chǎn)品型號(hào)：???TST1200-60B-PECVD
PECVD系統(tǒng)由開(kāi)啟式單（雙）溫區(qū)管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、射頻電源、壓強(qiáng)控制儀及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成。
主要功能和特點(diǎn)：
1、（可選配）高真空系統(tǒng)由雙級(jí)旋片真空泵和分子泵組成，最高真空可達(dá)0.0001Pa；
2、可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制；
3、 通過(guò)射頻電源實(shí)現(xiàn)輝光放電等方法，產(chǎn)生等離子體；
4、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。
5、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用世界頂級(jí)Swagelok卡套連接，不漏氣；
6、超溫、過(guò)壓時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣，使用安全可靠。
PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡(jiǎn)單。
主要技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品型號(hào) |
TST-1200-60B-PECVD |
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爐體結(jié)構(gòu) |
雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有風(fēng)冷系統(tǒng) |
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爐膛材質(zhì) |
日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 |
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爐管材質(zhì) |
高純石英管；可選外徑Φ40/50/60/80/100*1200/1500mm |
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密封法蘭 |
不銹鋼快速擠壓密封法蘭 |
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溫控系統(tǒng) |
溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降 溫程序；控溫精度±1℃ |
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顯示模式 |
儀表面板顯示 |
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加熱元件 |
優(yōu)質(zhì)電阻絲0Cr27Al7Mo2 |
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測(cè)溫元件 |
K型熱電偶（可選購(gòu)增加內(nèi)置熱電偶，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)加熱物料溫度） |
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使用溫度 |
最高溫度1200℃，連續(xù)工作溫度≤1150℃ |
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升溫速度 |
推薦≤10℃/min，最快升溫速度30℃/min |
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降溫速度 |
700℃以上≤10℃/min |
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恒溫區(qū) |
加熱區(qū)長(zhǎng)度440mm，恒溫區(qū)200mm |
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真空范圍 |
0.1-0.001Pa |
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極限真空 |
4.0*10^-4Pa |
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產(chǎn)品配置 |
雙級(jí)旋片真空泵+分子泵 |
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測(cè)量方式 |
復(fù)合真空計(jì) |
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真空規(guī)管 |
電阻規(guī)+電離規(guī) |
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射頻電源 |
電源：?jiǎn)蜗?0/60Hz 220v±10% |
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射頻電源 |
加熱（功率）電源：2.5KW，25A |
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射頻電源 |
控制柜電源空氣開(kāi)關(guān)：32A空氣開(kāi)關(guān) |
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射頻電源 |
薄膜生長(zhǎng)室溫度：室溫~ 1200℃ |
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射頻電源 |
射頻頻率：13.56MHz |
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射頻電源 |
射頻功率輸出范圍：5~500W |
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質(zhì)量流量計(jì) |
控制方式：質(zhì)量流量計(jì),流量顯示儀（七星華創(chuàng)、美國(guó)Omega、日本Horiba） |
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質(zhì)量流量計(jì) |
流量規(guī)格0－500SCCM /0－1SLM,（可根據(jù)客戶需要配置） |
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質(zhì)量流量計(jì) |
線性±1%F.S |
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質(zhì)量流量計(jì) |
準(zhǔn)確度±1%F.S |
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質(zhì)量流量計(jì) |
重復(fù)精度±0.2%F.S. |
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質(zhì)量流量計(jì) |
響應(yīng)時(shí)間≤2sec |
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質(zhì)量流量計(jì) |
耐壓3MPa |
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質(zhì)量流量計(jì) |
氣路通道雙通道（根據(jù)客戶需求） |
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機(jī)器電源 |
AC220V，50/60Hz；額定功率4kw |
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執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) |
GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005 |
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標(biāo)準(zhǔn)配置 |
主機(jī)1臺(tái)，密封法蘭1套，“O”型圈4個(gè)，石英管1根，管堵4個(gè)，坩堝鉤1把， 說(shuō)明書、合格證、保修卡各1份 |
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可選混氣 |
多通道浮子、質(zhì)量混氣系統(tǒng) |
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選購(gòu)件 |
爐架，各種石英、剛玉坩堝，石英管，高溫手套，計(jì)算機(jī)控制軟件，無(wú)紙記錄儀等。 |
上海特瑟電爐設(shè)備技術(shù)有限公司生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)電爐符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并通過(guò)歐盟CE安全認(rèn)證，出廠前經(jīng)過(guò)嚴(yán)格檢測(cè)；秉持“全方位、高品質(zhì)、快速度”的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)，以客戶滿意為目標(biāo)，謹(jǐn)此公開(kāi)承諾。
一、產(chǎn)品質(zhì)量承諾：
1、產(chǎn)品的制造和檢測(cè)嚴(yán)格按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，并有質(zhì)量記錄可查；每臺(tái)設(shè)備都有唯一的制造編號(hào)，并建立用戶檔案。
2、所有產(chǎn)品均可通過(guò)權(quán)威的第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)；也可委托我方代為辦理（檢測(cè)機(jī)構(gòu)：上海市計(jì)量局和華東國(guó)家計(jì)量測(cè)試中心），費(fèi)用另計(jì)。
二、交貨期承諾：
按合同約定執(zhí)行；如客戶有特殊原因需提前交貨的，我公司可特別組織生產(chǎn)，力爭(zhēng)滿足用戶需求。
三、售后服務(wù)承諾：
1、免費(fèi)送貨上門服務(wù)；
2、免費(fèi)安裝調(diào)試服務(wù)：當(dāng)您收到設(shè)備后，請(qǐng)注意檢查外包裝是否完好并通知我們，我們會(huì)安排專業(yè)人員上門免費(fèi)安裝、調(diào)試及培訓(xùn)，并指導(dǎo)操作人員如何保養(yǎng)和注意事項(xiàng)等，直至滿意為止。
3、高效率 服務(wù)：當(dāng)設(shè)備不能正常使用時(shí)，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們，我們會(huì)在10分鐘內(nèi)響應(yīng)；2小時(shí)內(nèi)提供應(yīng)急解決方案；72小時(shí)內(nèi)安排專業(yè)人員上門服務(wù)；
4、定期回訪服務(wù)：提供定期電話回訪或上門回訪服務(wù)；
5、軟件免費(fèi)更新：我們免費(fèi)提供軟件的升級(jí)更新服務(wù)，使設(shè)備始終處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先；
6、設(shè) 備保 固期：我司鄭重承諾，自交貨之日起，我公司設(shè)備整機(jī)保固期為24個(gè)月.
7、保固期限內(nèi)：如遇設(shè)備質(zhì)量上問(wèn)題，我公司鄭重承諾，負(fù)責(zé)免費(fèi)維修及更換零部件，（因甲方使用不當(dāng)或其他人為因素造成的故障除外）。質(zhì)保期內(nèi)，如設(shè)備或零部件因非人為因素出現(xiàn)故障而造成短期停用時(shí)，則質(zhì)保期和免費(fèi)維修期相應(yīng)順延。如停用時(shí)間累計(jì)超過(guò)60天則質(zhì)保期重新計(jì)算。
9、操作培訓(xùn)：針對(duì)客戶的具體操作人員，我公司免費(fèi)上門給予操作培訓(xùn)、簡(jiǎn)單故障排除、技術(shù)深入研制等培訓(xùn)，保證設(shè)備使用者能夠掌握使用技術(shù)。
10、保固期外，整機(jī)終身保修，如需更換零部件，緊收零部件的成本價(jià)。
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