PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單。
射頻電源主要技術(shù)參數(shù)如下:
電源:?jiǎn)蜗?0/60Hz 220v±10%
加熱(功率)電源:2.5KW,25A
控制柜電源空氣開(kāi)關(guān):32A空氣開(kāi)關(guān)
薄膜生長(zhǎng)室溫度:室溫~ 1200℃
射頻頻率:13.56MHz
射頻功率輸出范圍:5~500W
可以選配進(jìn)口射頻電源
上海特瑟電爐設(shè)備技術(shù)有限公司生產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)電爐符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并通過(guò)歐盟CE安全認(rèn)證,出廠(chǎng)前經(jīng)過(guò)嚴(yán)格檢測(cè);秉持“全方位、高品質(zhì)、快速度”的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn),以客戶(hù)滿(mǎn)意為目標(biāo),謹(jǐn)此公開(kāi)承諾。
一、產(chǎn)品質(zhì)量承諾:
1、產(chǎn)品的制造和檢測(cè)嚴(yán)格按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行,并有質(zhì)量記錄可查;每臺(tái)設(shè)備都有唯一的制造編號(hào),并建立用戶(hù)檔案。
2、所有產(chǎn)品均可通過(guò)權(quán)威的第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè);也可委托我方代為辦理(檢測(cè)機(jī)構(gòu):上海市計(jì)量局和華東國(guó)家計(jì)量測(cè)試中心),費(fèi)用另計(jì)。
二、交貨期承諾:
按合同約定執(zhí)行;如客戶(hù)有特殊原因需提前交貨的,我公司可特別組織生產(chǎn),力爭(zhēng)滿(mǎn)足用戶(hù)需求。
三、售后服務(wù)承諾:
1、免費(fèi)送貨上門(mén)服務(wù);
2、免費(fèi)安裝調(diào)試服務(wù):當(dāng)您收到設(shè)備后,請(qǐng)注意檢查外包裝是否完好并通知我們,我們會(huì)安排專(zhuān)業(yè)人員上門(mén)免費(fèi)安裝、調(diào)試及培訓(xùn),并指導(dǎo)操作人員如何保養(yǎng)和注意事項(xiàng)等,直至滿(mǎn)意為止。
3、高效率 服務(wù):當(dāng)設(shè)備不能正常使用時(shí),請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們,我們會(huì)在10分鐘內(nèi)響應(yīng);2小時(shí)內(nèi)提供應(yīng)急解決方案;72小時(shí)內(nèi)安排專(zhuān)業(yè)人員上門(mén)服務(wù);
4、定期回訪(fǎng)服務(wù):提供定期電話(huà)回訪(fǎng)或上門(mén)回訪(fǎng)服務(wù);
5、軟件免費(fèi)更新:我們免費(fèi)提供軟件的升級(jí)更新服務(wù),使設(shè)備始終處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先;
6、設(shè) 備保 固期:我司鄭重承諾,自交貨之日起,我公司設(shè)備整機(jī)保固期為24個(gè)月.
7、保固期限內(nèi):如遇設(shè)備質(zhì)量上問(wèn)題,我公司鄭重承諾,負(fù)責(zé)免費(fèi)維修及更換零部件,(因甲方使用不當(dāng)或其他人為因素造成的故障除外)。質(zhì)保期內(nèi),如設(shè)備或零部件因非人為因素出現(xiàn)故障而造成短期停用時(shí),則質(zhì)保期和免費(fèi)維修期相應(yīng)順延。如停用時(shí)間累計(jì)超過(guò)60天則質(zhì)保期重新計(jì)算。
9、操作培訓(xùn):針對(duì)客戶(hù)的具體操作人員,我公司免費(fèi)上門(mén)給予操作培訓(xùn)、簡(jiǎn)單故障排除、技術(shù)深入研制等培訓(xùn),保證設(shè)備使用者能夠掌握使用技術(shù)。
10、保固期外,整機(jī)終身保修,如需更換零部件,緊收零部件的成本價(jià)。